Laboratorio de Nanoelectrónica

Este Laboratorio está considerado como la instalación universitaria más importante, de su naturaleza, en toda Europa; y ha supuesto una inversión de 1,8 M€.

Equipamiento para caracterización Nanoelectrónica:

• Dos mesas de puntas semiautomáticas para caracterización de dispositivos electrónicos sobre obleas de 300mm totalmente apantalladas y de posicionamiento automático (Mod. Suss PA300 ProbeShield and MicroAlign) con chuck térmico desde -60ºC hasta +300 ºC.
• Mesa de puntas manual criostática (en adquisición).
• Dos analizadores de parámetros de semiconductores de altas prestaciones totalmente equipados (Agilent B1500)
• Analizador vectorial de redes PNA-X Agilent 4242A (26.5Ghz)
• Osciloscopio digital Agilent DSO90404A Infiniium 8 GHz, 20 GSa/s, 4 Ch
• Analizador de impedancias desde 40Hz hasta 110 MHz, Agilent 4294A.
• Analizador de espectros Agilent E4446A
• Generador de señales arbitrarias Agilent 81130
• Puestos de caracterización de dispositivos encapsulados.
• Cámara limpia.
• Cámara de seguridad biológica.
• Estación de puntas para técnica pseudoMOSFET.

Técnicas de Laboratorio disponibles:

• Caracterización AC y DC de nanodispositivos electrónicos. Medidas I-V, C-V, resistencia laminar, etc.
• Caracterización RF de dispositivos en un amplio rango de frecuencias (RF, UWB, parámetros S, parámetros X, análisis de impedancia, etc.).
• Medidas transistorias y pulsadas de dispositivos con patrones arbitrarios.
• Caracterización térmica de nanodispositivos (desde 10-12K hasta 600K).
• Estudio, diseño y caracterización de MEMs y biosensores sobre sustratos SOI y nanotubos de carbono.